雙電測四探針測試儀/四探針測試儀/四探針檢測儀/雙電測四探針測定儀/雙電測四探針電阻率測試儀 型號:GSZ-RTS-9
采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
是個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。 測試程序控制四探針測試儀行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
測量范圍
電阻率:10-4~105 Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:10-3~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:10-5~104 s/cm; 電阻:10-4~105 Ω;
可測晶片厚度
≤3mm
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本標(biāo)
間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量*相對誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
≤4%
計算機(jī)通訊接口
并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無頻干擾; 無強(qiáng)光直射;
歡迎來電,竭誠為您服務(wù)?。?br />