能薄膜性測試儀

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產(chǎn)品名稱: 能薄膜性測試儀
產(chǎn)品型號: HAD0-70601
產(chǎn)品廠商: 恒奧德
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀兩分組成。具有測量精度，靈敏度，穩(wěn)定性好，測量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試

能薄膜性測試儀 的詳細(xì)介紹

能薄膜性測試儀型號:HAD0-70601

儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀兩分組成。具有測量精度，靈敏度，穩(wěn)定性好，測量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。

四探針測試儀由主機(jī)，測試架等分組成?？梢詼y量片狀，塊狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻），能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的性，還可以對金屬導(dǎo)體的低，中值電阻行測量。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確，游移率小，壽命長。

非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室，溫控系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，阻測量系統(tǒng)等分組成。

1. 測量范圍：電阻測量范圍：1×106 1×1017Ω；

電阻率：0.001～200Ω cm;

電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm;

2. 可測晶片直徑：200mm×200mm;

3. 探針：碳化鎢或速鋼；探針間距：1± 0.01mm;

4. 針間緣電阻： ≥ 1000 MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；

5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa;

襯底加熱溫度：室溫度～200℃

能薄膜性測試儀 能薄膜性測試儀HZDH0-70601